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东方晶源微电子科技(上海)有限公司

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东方晶源微电子科技(上海)有限公司

东方晶源微电子科技(上海)有限公司是东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司的全资子公司,成立于2021年11月30日。公司专注于集成电路制造良率管理领域,主营业务为集成电路量检测设备(如CD-SEM、EBI)与制造类EDA软件(如计算光刻软件PanGen®)的研发、销售与服务,提供软硬件结合的芯片制造一体化良率解决方案。公司以“电子束量检测+计算光刻”为核心,其HPO(全流程优化)方案在业内具有影响力。公司是国家级专精特新重点“小巨人”企业,并于2026年6月科创板IPO申请获受理。

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